2025 年 2 月 13 日
ウインテスト株式会社
低コストウエーハ照射型イメージセンサー検査装置用 LED 光源装置
「WLS-150s」及び「WLS-100」リリースのお知らせ
この度、ウインテスト株式会社(横浜市西区)は、WLS-150 イメージセンサー検査用多機能光源シリーズの新ラインアップとして、WLS-150 シリーズの機能を維持し低コスト化を図った LED 光源装置「WLS-150s」並びに「WLS-100」の開発を完了し、今般リリースを行いますのでお知らせいたします。
記
1.一般にイメージセンサー検査用光源装置は、ウエーハテストにおいて、検査装置本体または、ファイナルテストではハンドラー搬送装置に取付けられ、特にウエーハ上の被測定イメージセンサーデバイスに対して広範囲に斑のない均一な光を照射しなければいけません。またイメージセンサーのテスト中に検査項目に応じ、プログラムで照度や光フィルターなどを高速に切替えて検査を行なう必要があります。
今回リリースした WLS-150s及びWLS-100 は、装置性能を維持し、価格を低く抑えた光源装置です。 本装置は、直接照射だけでなく光ファイバー接続も可能としており、様々な検査要求に応じられる仕様としております。
2.「WLS-150s」の特徴
①「WLS-150s」 (大型テスター/ハンドラー搬送装置にも実装可能)
・昼白色 LED 素子の使用
・照明領域:Φ130mm(70mm×120mm)
・照度範囲:0.1Lx~8000Lx≧
・均一性:1.5%≦
・寿命:30,000 時間以上
・WD:145±5mm
②「WLS-100」の特徴
・昼白色 LED 素子の使用
・照明領域:Φ100mm
・照度範囲:0.1Lx~8000Lx≧
・均一性:1.5%≦
・寿命:30,000 時間以上
・WD:110±5mm
3.業績に与える影響について
今期通期業績への影響について、現在精査中です。明確になり次第お知らせいたします。 ※本ニュースリリースに掲載されている情報は、発表日現在の情報であり、諸般の事情により予告なく変更されることがあります。
以上