2023 年 11 月 15 日

株式会社オキサイド

「脱炭素社会実現に向けた省エネルギー技術の研究開発・社会実装促進プログラム」に
採択されました

株式会社オキサイド（本社：山梨県北杜市武川町牧原 1747 番地 1 代表取締役社長 古川保典）は、国
立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（以下、「NEDO」）が公募した「脱炭素社会実現に向けた省エネルギー技術の研究開発・社会実装促進プログラム」（2023 年度追加公募）（以下、「本プログラム」）に採択されましたので、下記のとおりお知らせいたします。本プログラムは、「省エネルギー技術戦略」（資源エネルギー庁、NEDO）において重点的に取り組むべき分野として特定した「重要技術」を中心に、2040 年に高い省エネルギー効果が見込まれる技術開発を支援し、我が国における脱炭素社会を実現しつつ、産業競争力の強化を目指すプログラムです。

記

1.社会的背景とテーマの概要
この度、当社は、「家電パワーデバイス用途低コストβ-Ga2O3ホモエピタキシャル基板の開発」というテーマで、セラテックジャパン株式会社と共同で応募し、採択されました。

パワー半導体は電力の変換や制御を担う半導体で、脱炭素社会の実現に欠かせないキーデバイスです。従来のパワー半導体で使用されている材料シリコン（Si）では、材料物性の限界からこれ以上の低損失化が難しいとされています。そこで、Si を超える低損失化を実現する新材料として、炭化ケイ素（SiC）や窒化ガリウム（GaN）が注目されています。近年、SiC は車載機器、GaN は高機能 AC アダプター、等の高付加価値市場で採用が加速しています。しかしながら、Si の数倍とされる SiC と GaN の高コスト構造が障害となり、エアコンや冷蔵庫のような社会で広く用いられる電気製品（白物家電）への採用は十分に進んでいません。
当社では、高付加価値市場に加えて、より汎用的な市場に新素材パワー半導体を普及させることが脱炭素社会の実現に肝要であると考え、「家電パワーデバイス用途低コストβ-Ga2O3ホモエピタキシャル基板の開発」への取り組みを開始しました。

β型酸化ガリウム（β-Ga2O3）は、SiC や GaN に次ぐ最先端半導体材料として、昨今、世界的に大きな注目を集めています。本テーマでは、当社が開発・製造を進めるβ-Ga2O3ホモエピタキシャル基板をデバイスメーカーに提供し、デバイスメーカーで SiC や GaN と同等以上の性能を有するパワー半導体を、大幅な低コストで製造することを目指しています。

酸化ガリウム単結晶基板の開発は、日本が世界をリードしており、ダイオードやトランジスタなど酸化ガリウムパワー半導体の量産が 2024 年以降に開始されると期待されています。酸化物を意味する「オキサイド」を社名とする当社が、酸化物単結晶で培った知見と信頼性、さらに供給能力でニーズに応え、省エネ性に優れた酸化ガリウム単結晶基板を社会に広く普及させることは、酸化ガリウムパワー半導体の社会実装を加速させ、日本国内での強靭な半導体サプライチェーンの構築にも大きく寄与します。

SiC、GaN、酸化ガリウムに代表される新材料パワー半導体の市場規模は、2023 年の 2,354 億円から、2035 年では 5 兆 4,485 億円に急拡大すると予測されています※。現在の予測ではその 9 割以上を SiC が占めていますが、当社はβ型酸化ガリウムの開発に取り組むことで、この成長市場において大きな事業機会の創出を目指します。

更に、現在 SiC 単結晶ウエハはそのほとんどが海外製造されていますが、当社は NEDO のグリーンイノベーション基金事業を活用し、溶液法を用いた国内製 SiC 単結晶ウエハの技術開発を推進しています。SiC に加えて酸化ガリウムの事業化を進めることで、SiC と酸化ガリウムの単結晶ウエハを供給する存在となり、日本の半導体産業競争力創出にも寄与して参ります。

※ 富士経済「2023 年版 次世代パワーデバイス＆パワエレ関連機器市場の現状と将来展望」（2023 年 3月発刊）

2.補助金の概要
(1) 助成機関
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）
(2) プログラム名
脱炭素社会実現に向けた省エネルギー技術の研究開発・社会実装促進プログラム
(3) 研究開発テーマ
家電パワーデバイス用途低コストβ-Ga2O3ホモエピタキシャル基板の開発
(4) 期間
2023 年 12 月～2026 年 3 月

以上

本件に関する問い合わせ先
株式会社オキサイド 企画グループ
ir@opt-oxide.com
TEL: 0551-26-0022

【会社概要】
当社は、国立研究開発法人物質・材料研究機構発のベンチャー企業として 2000 年に設立。山梨県北杜市に本社と工場、神奈川県横浜市保土ヶ谷区に事業所があります。

創業以来、当社は単結晶・レーザのグローバルニッチトップカンパニーを目指し、「研究成果を社会に還元し、キーマテリアルを世界に向けて発信する」、「顧客へマテリアルソルーションを提供し、社会の発展に貢献する」、「単結晶を核とした製品を開発し、未来の市場機会を創造し続ける」という経営理念の下、単結晶から光学分野のバリューチェーンに沿って、常に単結晶開発や光学分野での技術で強みを生かせる事業に注力してまいりました。

主力は、21 世紀の光の時代に必要不可欠な単結晶・光部品・レーザ光源・光計測装置の開発・製造・販売で、「新領域」、「半導体」、「ヘルスケア」の３つの事業を展開しています。

2014 年には経済産業省の「グローバルニッチトップ 100 選」に選定、2021 年２月には Forbes Japan主催の「スモール・ジャイアンツ アワード 2021」のグランプリを受賞しました。

当社の特徴は、(1)単結晶・光学関連の専門家・技術者が多数在籍し、研究開発型の事業会社として成長している、(2)国内外の企業から光学関連技術を買収し製品化・事業化するノウハウを有しているーことであり、これらが独創性や競争優位性の源泉となっております。