令和４年１月２４日

東京大学
慶應義塾大学
科学技術振興機構（ＪＳＴ）

１０２４個の堅牢な分子センサーを１チップに集積化

～多種分子群を識別する小型・低消費電力センサーの実現に期待～

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ポイント

• １０２４個の堅牢な金属酸化物ナノ薄膜分子センサーを１チップに集積化したセンサーアレイを開発し、揮発性分子の空間濃度分布の可視化に成功した。
• 導電性金属酸化物電極を持つ横型ナノ薄膜チャネル構造とアナログフロントエンド回路技術により、長期間安定かつ高密度集積が可能なセンサーアレイ・システムを実現した。
• 分子センサーチャネルの界面化学物性制御技術を融合することで、多種類の分子群の識別・分類の実現が期待される。

東京大学 大学院工学系研究科 応用化学専攻の大学院生 本田 陽翔、高橋 綱己 特任准教授、柳田 剛 教授、慶應義塾大学 大学院理工学研究科 総合デザイン工学専攻の大学院生 椎木 陽介、同大学 理工学部 電気情報工学科の石黒 仁揮 教授らの研究グループは、１０２４個の堅牢な金属酸化物ナノ薄膜分子センサーを１平方センチメートル以下の面積に集積化したセンサーアレイチップを開発し、１平方センチメートル以下の領域における空気中の分子の濃度分布を可視化することに成功しました。

従来技術では難しかった、長期間安定的に動作する分子センサーの高密度集積化を導電性金属酸化物電極材料設計、横型ナノ薄膜チャネル構造、およびアナログフロントエンド回路技術によって実現しました。

本センサーアレイと分子センサーチャネルの界面化学物性制御技術を融合することで、多種類の分子からなる分子群の分類ができるセンサーの実現が期待されます。

本研究成果は、２０２２年１月２３日（米国東部標準時）に米国科学誌「ＡＣＳ Ｓｅｎｓｏｒｓ」のオンライン版に掲載されました。

本研究は、科学技術振興機構「さきがけ（課題番号：ＪＰＭＪＰＲ１９Ｍ６）」、「ＣＲＥＳＴ（課題番号：ＪＰＭＪＣＲ１９Ｉ２）」、科研費「基盤研究（Ｓ）（課題番号：ＪＰ１８Ｈ０５２４３）」、「基盤研究（Ｂ）（課題番号：ＪＰ２０Ｈ０２２０８）」の支援により実施されました。

＜プレスリリース資料＞

• 本文 ＰＤＦ（５２０ＫＢ）

＜論文タイトル＞

“Impact of Lateral SnO2 Nanofilm Channel Geometry on a 1024 Crossbar Chemical Sensor Array”

ＤＯＩ：10.1021/acssensors.1c02173

＜お問い合わせ先＞

• ＜研究に関すること＞

  高橋 綱己（タカハシ ツナキ）

  東京大学 大学院工学系研究科 応用化学専攻 特任准教授
  E-mail：takahashi-tg.ecc.u-tokyo.ac.jp

  柳田 剛（ヤナギダ タケシ）

  東京大学 大学院工学系研究科 応用化学専攻 教授
  E-mail：yanagidag.ecc.u-tokyo.ac.jp

• ＜ＪＳＴ事業に関すること＞

  舘澤 博子（タテサワ ヒロコ）

  科学技術振興機構 戦略研究推進部 ＩＣＴグループ
  〒102-0076 東京都千代田区五番町７ Ｋ’ｓ五番町
  Tel：03-3512-3526 Fax：03-3222-2066
  E-mail：prestojst.go.jp

  嶋林 ゆう子（シマバヤシ ユウコ）

  科学技術振興機構 戦略研究推進部 グリーンイノベーショングループ
  〒102-0076 東京都千代田区五番町７ Ｋ’ｓ五番町
  Tel：03-3512-3531 Fax：03-3222-2066
  E-mail：crestjst.go.jp

• ＜報道担当＞

  東京大学 大学院工学系研究科 広報室

  Tel：03-5841-0235 Fax：03-5841-0529
  E-mail：kouhoupr.t.u-tokyo.ac.jp

  慶應義塾 広報室

  Tel：03-5427-1541 Fax：03-5441-7640
  E-mail：m-pradst.keio.ac.jp

  科学技術振興機構 広報課

  〒102-8666 東京都千代田区四番町５番地３
  Tel：03-5214-8404 Fax：03-5214-8432
  E-mail：jstkohojst.go.jp

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